凈化工程的歸類

凈化工程就是指操縱商品(如硅集成ic等)所觸碰空氣的潔凈度等級(jí)及溫度濕度，使商品能在一個(gè)優(yōu)良的區(qū)域環(huán)境的空間中生產(chǎn)加工、制造。此區(qū)域環(huán)境的空間的設(shè)計(jì)施工全過(guò)程就可以稱之為凈化工程。

漩渦式(TurbulentFlow)

氣體由空調(diào)機(jī)組經(jīng)通風(fēng)風(fēng)管與潔凈房間內(nèi)之空氣過(guò)濾網(wǎng)(HEPA)進(jìn)到凈化室，并由凈化室兩邊隔斷板墻或架空地板

送風(fēng)。氣旋非直線式運(yùn)作而呈不規(guī)律之漩渦或渦旋情況。此形式適用潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。

優(yōu)勢(shì)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)易、系統(tǒng)軟件修建低成本，凈化室的擴(kuò)張較為非常容易，在一些獨(dú)特主要用途場(chǎng)地，可并且用無(wú)塵工作臺(tái)，提升潔凈室等級(jí)。

缺陷：漩渦導(dǎo)致的浮塵顆粒于室內(nèi)空間設(shè)計(jì)懸浮不容易排出來(lái)，易環(huán)境污染工藝商品。此外若系統(tǒng)軟件終止運(yùn)行再激話，欲達(dá)要求之潔凈度等級(jí)，通常須用時(shí)非常長(zhǎng)一定時(shí)間。

凈化工程層.流式(Laminar)

層.流式氣體氣旋運(yùn)作成一勻稱之直線式，氣體由覆蓋面積100%之過(guò)濾裝置進(jìn)到房間內(nèi)，并由架空地板或兩邊輕質(zhì)隔墻板送風(fēng)。此形式適用潔凈室等級(jí)需定較高的區(qū)域環(huán)境應(yīng)用，通常其潔凈室等級(jí)為Class1~100。其形式可分成兩種：

(1)水準(zhǔn)層.流式：平移式氣體自過(guò)濾裝置單方位吹出，由對(duì)邊墻面之送風(fēng)系統(tǒng)軟件送風(fēng)，浮塵隨風(fēng)頻排出來(lái)戶外，通常在下流側(cè)環(huán)境污染較比較嚴(yán)重。

優(yōu)勢(shì)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)易，運(yùn)行后短期內(nèi)內(nèi)就可以變?yōu)槠椒€(wěn)。

缺陷：修建花費(fèi)比漩渦式高，室內(nèi)空間設(shè)計(jì)不容易擴(kuò)張。

(2)豎直層.流式：屋子吊頂天花板徹底以ULPA過(guò)濾裝置遮蓋，氣體由上向下吹，必得較高之潔凈度等級(jí)，在工藝中或工作員所造成的浮塵可迅速排出來(lái)戶外而不容易危害其它工作地區(qū)。

優(yōu)勢(shì)：管理方法非常容易，運(yùn)行剛開(kāi)始短期內(nèi)內(nèi)就可以達(dá)平穩(wěn)情況，不容易為作業(yè)狀態(tài)或工作工作人員所危害。

復(fù)合型(MixedType)

復(fù)合型為將漩渦式及層.流式給予復(fù)合型或并且用，可出示部分超潔凈之氣體。

(1)潔凈隧道施工(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾裝置將工藝地區(qū)或工作地區(qū)100%遮蓋使?jié)崈羰业燃?jí)提升至10級(jí)之上，可節(jié)約安裝運(yùn)行花費(fèi)。此形式需將工作工作人員之工作區(qū)域與商品和設(shè)備維修給予防護(hù)，以防止設(shè)備維修時(shí)危害工作及質(zhì)量。ULSI工藝大多數(shù)選用此類形式。

潔凈隧道施工另有兩項(xiàng)優(yōu)勢(shì)：A.延展性擴(kuò)張非常容易；B.檢修設(shè)備維修時(shí)可在維修區(qū)隨便實(shí)行。

(2)潔凈管路(CleanTube)：將商品步驟歷經(jīng)的自動(dòng)化生產(chǎn)線包圍著并清潔解決，將潔凈室等級(jí)增至100級(jí)之上。因商品和操作工及發(fā)塵區(qū)域環(huán)境互相防護(hù)，小量之排風(fēng)就可以獲得優(yōu)良之潔凈度等級(jí)，可節(jié)約能源，不需人工服務(wù)的自動(dòng)化技術(shù)生產(chǎn)流水線為最適合應(yīng)用。藥物、食品類業(yè)內(nèi)及半導(dǎo)體材料業(yè)內(nèi)均可用。

(3)并裝部分凈化室(CleanSpot)：將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之漩渦潔凈房間內(nèi)之商品工藝區(qū)的潔凈室等級(jí)提升為10~1000級(jí)之上，認(rèn)為生產(chǎn)加工的用處；凈化工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈箱式風(fēng)機(jī)即屬該類。

潔凈工作棚：為在漩渦式之凈化室的空間內(nèi)以抗靜電之全透明塑料薄膜排成一小的空間，選用單獨(dú)之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)發(fā)電機(jī)組而變成一高級(jí)之潔凈的空間，其級(jí)別為10~1000級(jí)，高寬比在2.5米長(zhǎng)，覆蓋范圍約十米2下列，四支支撐并改裝活動(dòng)輪，能為延展性應(yīng)用。