凈化工程的有關(guān)專業(yè)知識(shí)與詳細(xì)信息，工作人員的活動(dòng)也可以使單邊流釀出紊流。已經(jīng)這些紊流中，因?yàn)轱L(fēng)力較低，氣體稀釋液水準(zhǔn)較小，進(jìn)而促使環(huán)境污染濃度值較高。因此，必不可少將風(fēng)力相互連接已經(jīng)0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的范圍里，便于使終斷的單邊流能迅速修復(fù)，豐富稀釋液阻礙物四周紊流區(qū)的環(huán)境污染。用風(fēng)力可以精確地暗示著出單邊流，由于風(fēng)力越高房間內(nèi)就越整潔。而每鐘頭換風(fēng)取屋子的容積相關(guān)，如裝修吊頂?shù)淖笥遥虼瞬贿m合用于暗示著單邊流。單邊流房間內(nèi)的送排風(fēng)量是紊流室的許多倍(10到100倍)。核心供應(yīng)室既是環(huán)境污染物件的聚集地，另外也是無(wú)菌檢測(cè)物件的生產(chǎn)制造、存儲(chǔ)和推送單位，避免步驟中的環(huán)境污染外擴(kuò)散是主要現(xiàn)象。

整潔室內(nèi)空間的溫度濕度最先是依據(jù)凈化工程加工工藝規(guī)定來(lái)明確，但已經(jīng)考慮凈化工程加工工藝規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)下，應(yīng)充分考慮人的溫馨度感。跟隨氣體整潔度規(guī)定的發(fā)展，展現(xiàn)了凈化工程加工工藝對(duì)溫度濕度的規(guī)定也愈來(lái)愈嚴(yán)的發(fā)展趨勢(shì)。詳盡凈化工程加工工藝對(duì)氣溫的規(guī)定之后也要例舉，但作為總的本則看，因?yàn)榧庸ぞ扔鷣?lái)愈細(xì)致，因此對(duì)氣溫變動(dòng)范圍的規(guī)定愈來(lái)愈小。倘若潔凈室工程花費(fèi)依照生產(chǎn)流水線的%測(cè)算，將來(lái)每建一條生產(chǎn)流水線所必須的凈化室的花費(fèi)也達(dá)億人民幣。

比如已經(jīng)規(guī)模性集成電路芯片消費(fèi)的光刻曝出加工工藝中，作為掩膜板材料的夾層玻璃取硅單晶的線膨脹系數(shù)的差規(guī)定愈來(lái)愈小。曲徑100um的硅單晶，氣溫升高1度，就造成了0.24um線形澎漲，因此必不可少有±0.1度的控溫，另外規(guī)定環(huán)境濕度值一般較低，由于人流汗之后，對(duì)賣得貨將有環(huán)境污染，放碼是怕鈉的半導(dǎo)體材料生產(chǎn)車間，那類生產(chǎn)車間氣溫不適合跨越25度，濕度過(guò)高產(chǎn)生的現(xiàn)象大量。控制面板的項(xiàng)目投資一樣具有極強(qiáng)的成長(zhǎng)型和規(guī)律性，相匹配著身后的產(chǎn)品升級(jí)產(chǎn)生的投資總額的規(guī)律性增漲。

空氣濕度跨越55%時(shí)，冷卻循環(huán)水壁厚上面冷凝水，倘若發(fā)病已經(jīng)細(xì)致安裝或電源電路中，便會(huì)造成各種安全事故?？諝鉂穸纫呀?jīng)50%最易銹蝕。除此之外，環(huán)境濕度太高時(shí)將根據(jù)空氣中的氧分子把硅單晶表面黏著的浮塵有機(jī)化學(xué)吸咐已經(jīng)表面無(wú)法肅清流毒?？諝鉂穸仍礁?黏附的越累除掉，但當(dāng)空氣濕度小于30%時(shí)，又因?yàn)殪o電力的影響使顆粒也非常容易吸咐于表面，另外很多集成電路工藝非常容易發(fā)病穿透。